Le microscope à balayage JEOL JSM-7800F LV est un appareil doté d’une source FEG.

Il associe la résolution spatiale sub-nanométrique, les capacités analytiques nanométriques en EDS et la possibilité de travailler en vide dégradé.

  • Source à émission de champ assistée thermiquement de type Schottky in lens qui permet une stabilité de courant < 1 % sur 12 h.
  • Tension d'accélération allant de 10 V à 30 kV.
  • Possibilité de travailler avec une pression dégradée de 10 à 300 Pa (mode LV "Low Vaccum").
  • Courant de sonde continu de 1 pA à 500 nA.
  • Grossissement de x1 à x1.000.000.
  • Résolution spatiale : 0,8 nm à 15 kV, 1,2 nm à 1 kV et 1,5 nm à 15 kV sous 50 Pa de pression dans la chambre.
  • Observation possible d’échantillons de 100 mm de diamètre et de 40 mm de haut.
  • Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés dans la chambre, dans la colonne (in-lens) et en mode " low vaccum ".
  • Système d’observation en mode transmission d’échantillons minces (STEM).
  • Système couplé EDS/EBSD AZtec de la société Oxford Instruments (spectromètre SDD de 80 mm² et caméra EBSD hkl Nordlys Max²) qui permet également de réaliser des analyses EBSD sur échantillons minces (TKD).