Le microscope à balayage Hitachi SU 5000 est un appareil doté d’une source FEG.

Il associe la résolution spatiale nanométrique, les capacités analytiques très performantes en EDS et EBSD et la possibilité de travailler en vide dégradé.

  • Source à émission de champ assistée thermiquement de type Schottky in lens qui permet une stabilité de courant < 1 % sur 12 h.
  • Tension d'accélération allant de 10 V à 30 kV.
  • Possibilité de travailler avec une pression dégradée de 10 à 300 Pa (mode LV "Low Vacuum"). Aucun diaphragme n’est nécessaire pour travailler en mode LV, il n’y a donc ni perte de courant ni modification de champ d’observation.
  • Courant de sonde continu jusque 200 nA.
  • Grossissement de x10 à x1.500.000.
  • Résolution spatiale : 1.2 nm à 30 kV, 3 nm à 1 kV et 3 nm à 15 kV sous 50 Pa de pression dans la chambre.
  • Observation possible d’échantillons de 130 mm de diamètre et de 80 mm de haut.
  • Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés en vide poussé et en mode " low vacuum ".
  • Système couplé EDS/EBSD AZtec de la société Oxford Instruments (spectromètre SDD de 60 mm² et caméra EBSD Symmetry) qui permet également de réaliser des analyses EBSD sur échantillons minces (TKD).
  • Il faut noter que la caméra EBSD est de technologie dite CMOS, ce qui permet des acquisition ultra-rapide dans perte de résolution: (i) Cartographie EBSD 10 fois plus rapide qu’avec une camera EBSD classique; (ii) Possibilité de travailler sur des échantillons fragiles, Y compris en TKD.